Контрольно-измерительный комплекс «Тестер-Зонд»
на базе тестеров FORMULA и 
зондовых установок типа ЭМ-6190А

Контрольно-измерительный комплекс «Тестер-Зонд» предназначен для тестирования
кристаллов на пластине c использованием зондовой установки производства КБТЭМ-СО
и тестеров FORMULA производства компании ФОРМ.

Комплекс применяется при совместной работе зондов и Тестеров FORMULA HF2,
FORMULA HF3, FORMULA 2K и FORMULA TT. Программное обеспечение реализовано
Модулем работы с зондовой установкой.

Модуль работы с зондом включает:

1.1 Редактор пластины, который отображает:

·         расположение кристаллов на пластине, включая краевые кристаллы и кристаллы,
исключённые из карты обхода;

·         реперные точки,

·         геометрические параметры пластины, кристалла и модуля.

Возможно, редактировать и задавать цвета для групп годности кристаллов на пластине и
их отображение на экране при проведении контроля.

В состав Редактора входят средства импорта\экспорта карт пластины, позволяющие
приступить к измерениям, просто загрузив имеющуюся карту пластины с выбранной
зондовой установки. При необходимости можно просмотреть и отредактировать карту
пластины при помощи редактора.

1.2 Режим работы «мультисайт» и «одиночный кристалл»

Комплекс позволяет производить измерения как в режиме «мультисайт» так и в режиме
«одиночный кристалл». Для режима «мультисайт» предусмотрена система настроек
параметров проб-карты.

1.3 Мастер подключения

Мастер подключения к зондовым установкам позволяет всего за три действия подключиться
к зондовой установке, используя ранее сохранённые параметры подключения. Если по
каким-либо причинам ранее установленные параметры надо изменить, есть возможность
задать новые параметры и сохранить их.

Мастер подключения учитывает все возможные параметры подключения к зондовым установкам,
позволяя изменять их с помощью гибкого и удобного графического интерфейса, а также
производить проверку введённых параметров и тестирование подключения.

1.4 Режим контроля пластины

Модуль работы с зондовыми установками отображает контроль как одиночных, так и
«модульных кристаллов». Для них результаты контроля предоставляются по каждому
кристаллу, входящему в модуль. Окно модуля при контроле пластины показано на рисунке 2:

Единый для тестеров FORMULA интерфейс позволяет:

·         визуализировать процесс измерения микросхем и полупроводниковых приборов
на пластине в разных режимах,

·         просматривать информацию о ходе тестирования как по пластине целиком, так
и по каждому измеренному кристаллу.

·         задавать и изменять отображения групп годности брака на экране.

1.5 Расширение системы

В программное обеспечение встроена система расширения, позволяющая за короткий
срок реализовать подключение к любым другим зондовым установкам, учитывая все
возможные их особенности.

Заключение:

Описанный программный модуль Тестер-Зонд позволяет эффективно контролировать
кристаллы на пластинах с помощью визуализации карты пластины и обхода пластины.
Он показывает всю топологию пластины, группы годности и брака, информацию о ходе
тестирования пластины.

Модуль удобно настраивается как на конкретный тип пластин, так и на подключаемую
зондовую установку с помощью встроенных Редактора пластин и Мастера подключения.
Реализован импорт/экспорт карт пластин с зондовых установок для повторного использования.

Модуль универсален: он работает со всеми тестерами FORMULA, измеряющими микросхемы
и полупроводниковые приборы, а также настраивается на любую зондовую установку.

Разработчик модуля ГК ФОРМ оказывает услуги по системной интеграции Решений с любой
зондовой установкой. В результате Потребитель получает полностью готовое решение для
эффективного контроля кристаллов на пластинах.

Модуль работы тестеров FORMULA с зондами в октябре 2011 г. успешно прошел испытания
в ОАО «Микрон» при совместной работе тестера FORMULA HF2 с установкой ЭМ 6190.