ТЕСТЕР ПОЛУПРОВОДНИКОВ FORMULA TT3
Разработчик и производитель
Системы FORMULA® BiS:
ООО «ФОРМ», РОССИЯ
Государственный Реестр
средств измерений:
№ 80614-20 от 31.12.2020
Тестер полупроводников
FORMULA®
ТТЗ
Разработчик и производитель
Системы FORMULA® ТТЗ:
ООО «ФОРМ», РОССИЯ
Государственный Реестр
средств измерений:
№ 80614-20 от 31.12.2020
Тестер стал развитием модели FORMULA® TT2, существенно расширив возможности её применения в область новых видов испытаний и анализа брака — улучшены функциональные и метрологические характеристики, оптимизирована эргономика рабочего места оператора, снижены требования к измерительной оснастке.
Тестер FORMULA® TT3 обеспечивает:
- воспроизведение электрического напряжения постоянного тока и силы постоянного электрического тока по четырехпроводной схеме;
- измерение электрического напряжения постоянного тока и силы постоянного электрического тока по четырехпроводной схеме;
- измерение емкостных характеристик полевых транзисторов и варикапов;
- построение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик двух- и трехполюсников с отображением результатов в графическом виде;
- определение зарядовых характеристик полевых транзисторов;
- испытания полевых транзисторов на устойчивость к воздействию энергии лавинного пробоя (ЭЛП) одиночного импульса;
- измерение статических электрических характеристик полупроводниковых приборов: полевых транзисторов, оптопар, тиристоров, биполярных транзисторов, диодов и стабилитронов, а также приборов других типов.
Тестер FORMULA® TT3
(2 кВ/100 А) является флагманским продуктом в линейке оборудования ФОРМ для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов, серийно производится с 2021 года и по состоянию на сегодня уже зарекомендовал себя на производственных участках предприятий российской электронной отрасли.
В Тестерах FORMULA® TT3 обеспечен высокий уровень автоматизации всех этапов процесса измерений полупроводниковых приборов, который позволяет оператору работать буквально с одной кнопкой на пульте управления, а инженеру — сосредоточиться на самом главном: особенностях работы контролируемых полупроводниковых приборов и анализе отклонений.
Тестеры FORMULA® TT3 являются типовыми средствами измерений, внесенными в ГосРеестр СИ РФ.Метрологические характеристики Тестеров подтверждаются в установленном порядке для каждого серийного экземпляра Тестера путем выполнения поверки по утвержденной Методике поверки.
Разработчик и единственный производитель Тестера FORMULA® TT3: ООО «ФОРМ», Россия
Область применения Тестера — испытания и контроль качества на всех стадиях жизненного цикла полупроводниковых приборов, включая:
- Испытания и исследования вновь разработанных типов полупроводниковых приборов
- Приемочные испытания серийной полупроводниковой продукции: квалификационные, периодические, отбраковочные, приемо-сдаточные
- Сертификационные испытания ЭКБ иностранного производства
- Входной контроль на предприятиях-производителях конечной продукции
Аппаратно-программные, конструкторские и метрологические решения, реализованные в Тестере FORMULA® TT3, обеспечивают достоверность результатов измерений, освобождают труд испытателей от рутины и ошибок, в разы повышают эффективность организации труда при проведении измерений и испытаний на предприятиях отрасли.
технические характеристики и
функциональные возможности
Аппаратно-программные и конструктивно-технологические решения, реализованные в Тестере FORMULA® TT3, позволили сделать шаг вперед не только по точности и диапазонам измерений, но и по числу методов измерений и эксплуатационным возможностям оборудования.
Значимость новых методов измерений и испытаний, реализованных в Тестерах FORMULA® TT3, определяется повышенными требованиями к проверке качества и надежности полупроводниковых приборов, которые обеспечиваются следующими новыми методами измерений и испытаний силовых полевых транзисторов:
- измерение емкостных параметров: входной, выходной, проходной емкости по ГОСТ 20398.5–74, IEC 60747–8 (п.6.3.10 — п. 6.3.12)
- определение зарядовых характеристик: заряда затвор-исток, затвор-сток, полного заряда по IEC 60747–8 (п.6.3.9)
- проведение испытаний на устойчивость к энергии лавинного пробоя по IEC 60747–8 (п.6.2.3.2)
Применение силовых полевых транзисторов зачастую предъявляет требования к сохранению показателей назначения средств измерений в долгосрочной перспективе. Для подтверждения долгосрочной стабильности применяются специальные методики испытаний и контроля полупроводниковых приборов, реализованные в Тестере FORMULA® TT3. Важнейшая из методик- испытания на способность полевых транзисторов выдерживать энергию лавинного пробоя, поскольку результаты данных испытаний позволяют выполнять отбраковку потенциально ненадежных полупроводниковых приборов.
Определение емкостных и зарядовых характеристик полевых транзисторов дает возможность оценить с помощью Тестера FORMULA® TT3 динамические характеристики испытуемых полупроводниковых приборов, что особенно важно при разработке новой аппаратуры.
| Наименование параметров / характеристик | Значение / описание |
|---|---|
| Функциональные характеристики | |
| Измерение статических параметров | ±2000 В / ±100 А |
| Измерение емкостных параметров | от 30 пФ до 40 нФ |
| Определение зарядовых характеристик | от 1 нКл до 400 нКл |
| Испытания на устойчивость к ЭЛП | от 1 мДж до 400 мДж |
| Технические характеристики | |
| Схема подключения к объекту контроля | 4-х проводная схема подключения |
| Операционная система | Windows 10 |
| Программное обеспечение | FORMULA® TT3 с графическим интерфейсом пользователя |
| Источники и измерители напряжения | |
| Диапазон воспроизведения/измерения напряжения постоянного тока | ±100 мВ…±2000 В |
| Ряд независимых источников и измерителей напряжения | 20 В (10А); 40 В (100А); 200 В (200 мА); 500 В (200 мА); 2000 В (5 мА) |
| Погрешность воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока | от ±(0,5% + 10) мВ |
| Источники и измерители тока | |
| Диапазон воспроизведения силы постоянного тока | ±100 нА…±100 А |
| Диапазон измерения силы постоянного тока | ±100 пА…±100 А |
| Ряд независимых источников и измерителей силы постоянного тока | 5 мА (2000 В); 200 мА (200 В); 10 А (20В); 100 А (40В), 100 пА — 200 нА (встроенный пикоамперметр) |
| Погрешность задания тока | от ±(1% + 50) нА |
| Длительность измерительного импульса | 300 мкс…100 с |
| Общие технические характеристики | |
| Напряжение питающей сети частотой 50 Гц, В | 230 ± 10% |
| Потребляемая мощность, В·А, не более | 600 |
| Масса, кг, не более | 76 |
| Исполнение | настольное |
| Интерфейсы управления | LAN, GPIB, RS 232 |
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
Высокоавтоматизированное управление процессом измерений на Тестерах FORMULA® TT3 обеспечивается специализированным отечественным программным обеспечением FORMULA® TT3, разработанным компанией ФОРМ для максимального удобства Потребителей.
Программное обеспечение FORMULA® TT3 выполняет функции:
- создания, редактирования и исполнения измерительных программ, в т. ч. с возможностью изменения тестовой последовательности измерительной программы в зависимости от промежуточного результата измерений в одном или нескольких тестах программы;
- обработки, анализа, документирования, хранения результатов и условий измерений, в т. ч. построения гистограмм по результатам измерений в партиях и на пластинах;
- выполнения диагностических и метрологических процедур;
- мониторинга безаварийной работы.
Таким образом, программное обеспечение FORMULA® TT3 автоматизирует процесс измерений на всех его этапах — от разработки и отладки измерительных программ до выполнения измерений, документирования результатов и проведения сервисных процедур. Основой автоматизации разработки измерительных программ является встроенная библиотека методов измерений полупроводниковых приборов,выполненных в полном соответствии с требованиями ГОСТ и международных стандартов:
- ГОСТ 20398, IEC 60747–8 — полевые транзисторы;
- ГОСТ 18604, ГОСТ 27264, ГОСТ 18604, IEC 60747–7 — биполярные транзисторы;
- ГОСТ 24613, IEC 60747–5 — оптопары;
- ГОСТ 19138, IEC 60747–6 — тиристоры
- ГОСТ 18986, IEC 60747–2, IEC 60747–3 — диоды и стабилитроны;
- ГОСТ 18986.4–7, IEC 60747–2, IEC 60747–3 — варикапы.
Библиотека включает более 60 нормативных методов контроля, существенно упрощая разработку измерительных программ, их обновление и доработку. Широкий спектр готовых методов контроля позволяет сократить время разработки измерительных программ и количество ошибок ручного труда.
Программное обеспечение FORMULA® TT3 имеет интуитивно понятный графический интерфейс во всех режимах работы. Разработка измерительных программ не требует специальных знаний в области программирования или длительного процесса обучения.
Конфигурирование, Отладка, Измерение — три простых шага к получению результата, которые программное обеспечение позволяет выполнить максимально автоматизировано и достоверно
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
НА БАЗЕ ТЕСТЕРА FORMULA® TT3
Для обеспечения автоматизации измерений и контроля параметров полупроводниковых приборов на пластине и в корпусе компания ФОРМ предлагает измерительные комплексы, созданные на основе Тестера FORMULA® TT3.
Ключевыми особенностями наших измерительных комплексов являются высокая производительность, надежность в эксплуатации и достоверность измерений в условиях массового серийного производства.
КОМЛЕКС ТЕСТЕР FORMULA® TT3 —
ЗОНДОВАЯ СТАНЦИЯ
Основа для создания комплексов — программно-аппаратные средства Тестера FORMULA® TT3 для интеграции с внешним оборудованием: с зондовыми установками, хэндлерами, испытательным оборудованием, внешними приборами, автозагрузчиками и автосортировщиками отечественного и иностранного производства.
Перечень оборудования, с которым Тестер FORMULA® TT3 обеспечивает интеграцию, постоянно расширяется по запросам Потребителей и на сегодня включает ряд моделей от ведущих иностранных и отечественных производителей: Cascade Mircrotech, MPI, Everbeing, Планар и другие.
ПРИМЕНЕНИЕ FORMULA® TT3
В ПРОЦЕССЕ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
НА ВНЕШНИЕ ВОЗДЕЙСТВУЮЩИЕ ФАКТОРЫ
Конструкция, аппаратное и программное обеспечение Тестера FORMULA® TT3 позволяют проводить испытания полупроводниковых приборов на воздействие внешних факторов, в том числе испытания при повышенных и пониженных температурах с использованием установок «Термострим», климатических и проходных камер.
Специально для Тестера FORMULA® TT3 разработано оригинальное рабочее место для измерений полупроводниковых приборов в корпусе с использованием установок «Термострим» в следующих температурных диапазонах:
- от минус 40 °C до плюс 85 °C в непрерывном режиме работы Тестера;
- от минус 60 °C до плюс 150 °C в циклическом режиме работы Тестера.
ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ОСНАСТКА И
ТЕСТОВЫЕ РЕШЕНИЯ TESTBOX®
Тестовые решения TestBox® являются «коробочными продуктами», предназначенными для сокращения времени и издержек Потребителя на подготовку к измерениям полупроводниковых приборов, и прежде всего — на разработку и изготовление специализированной измерительной оснастки.
Применение TestBox® позволяет Потребителю сразу же приступить к измерениям ЭКБ, исключив затраты на самостоятельную разработку измерительной оснастки и измерительных программ.
Измерительная оснастка, разработанная для Тестеров FORMULA® TT3, является уникальной, поскольку позволяет выполнять в одной измерительной программе измерения не только статических параметров полупроводниковых приборов, как это реализовано для FORMULA® TT2, но и их емкостных и зарядовых характеристик, а также токов пикоамперного диапазона.
Замещая оборудование предыдущего поколения, Тестер FORMULA® TT3 может быть дооснащен адаптером, обеспечивающим конструктивную совместимость с измерительной оснасткой советского оборудования «14ТКC» и серии приборов «Л 2-ХХ», а также с оснасткой Тестеров FORMULA® TT и FORMULA® TT2.
Адаптер позволяет обладателям устаревшего оборудования приступить к работе на FORMULA® TT3 без затрат на разработку и производство новой измерительной оснастки (при наличии старой), успешно используя задел оснастки прошлых лет.
Для проведения испытаний на устойчивость полевых транзисторов к энергии лавинного пробоя (ЭЛП) применяются тестовые решения со специализированной испытательной оснасткой.
Что в коробке:
- Специализированная оснастка для подключения конкретного типа ЭКБ;
- Диск программой контроля и измерений;
- Паспорт с руководством оператора;
- Гарантия производителя.
Измерительная
оснастка
СЕРВИСНЫЕ УСЛУГИ ПРОИЗВОДИТЕЛЯ
Для сокращения времени и издержек Потребителя на вспомогательные работы, непосредственно не связанные с измерениями, ФОРМ предоставляет Потребителям Тестеров Formula®TT3 следующие технические и метрологические услуги:
- Интеграция Тестеров FORMULA® TT3 в технологическую, информационную и испытательную инфраструктуру Потребителя с подключением внешнего оборудования, приборов и сетей
- Плановое техническое обслуживание, ремонт и метрологический сервис на месте эксплуатации Тестера специалистами метрологической службы ФОРМ
- Организацию рабочих мест на основе Тестеров FORMULA® TT3 с оснащением информационной базой данных для входного контроля
- Расширение конфигурации Тестера в соответствии с перечнем типовых опций, либо с разработкой опций на заказ
- Разработка специализированной оснастки для измерений и испытаний
- Сопровождение в рекламационной работе с выездом к Поставщику ЭКБ